YBCO外延薄膜的afterglow phasma溅射生长

摘要：

Y<,1>Ba<,2>Cu<,3>O<,7-δ>(YBCO)高温超导薄膜溅射生长所遇到的主要问题是负氧 离子的反溅射效应，该文实验了afterglow plasma溅射减弱负氧离子反溅射效应的作用，生长出了超导电磁性质优异的YBCO单晶薄膜，薄膜(005)峰摇摆曲线半高宽(FWHM)低至0.12°。

关键词： 外延薄膜 高温超导 溅射 薄膜

作者: 刘兴钊 李言荣 陶伯万 罗安

作者单位: 电子科技大学信息材料工程学院(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 180～182

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）