正交复合梁--质量块结构硅微机械陀螺

摘要：

该文介绍一种正交复合梁－质量块结构的硅微机械陀螺。正交复合梁由垂直梁和水平梁两部分构成，是多层结。采用无掩模腐蚀新技术已实现了这种结构，并研制了一种静电驱动、压阻检测的振动式微机械陀螺。当驱动电压为6V AC+15V DC，电桥电压为5V时，电桥的灵敏度为0.22μV/(°/sec)。该陀螺的一个突出优点是可以在大气中工作。

关键词： 陀螺 硅 微机械 无掩模腐蚀

作者: 李昕欣 尹颢 杨恒 沈绍群 鲍敏杭

作者单位: 复旦大学电子工程系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 66～69

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）