金刚石软X光荣了滤波器

摘要：

化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜具有一系列优良的物理化学性质,在X光领域有重要的应用潜力.本文报道采用热灯丝化学气相沉积法(HFCVD)制备金刚石软X光滤波器的实验.其软X光透射率明显优于传统的X光窗口材料铍,在新一代同步辐射光源软X光光线站的科学研究和亚微米大规模集成电路制版技术方面具有光明的应用前景.

关键词： CVD金刚石 软X光 透射率 滤波器 薄膜

作者: 应萱同 骆金龙

作者单位: 复旦大学信息科学和工程学院,光科学与工程系,三束材料改性国家联合重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 246-247,249

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）