C-H-N体系气相淀积金刚石簿膜的非平衡定态相图

摘要：

根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图，与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合，可以为今后的实验研究提供定量他的理论依据。还讨论了激活温度、系统压力和体系中氮原子含量对金刚石薄膜淀积条件的影响。

关键词： CVD 氮 金刚石 非平衡定态

作者: 刘志杰 张卫 张剑云 曹伟宝 朱鹤孙

作者单位: 大学电子工程系CVD研究室(上海) 理工大学材料科学研究室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1002～1003

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）