关键词： 掺杂纳米硅薄膜 微结构
作者: 徐刚毅 王金良 何宇亮 王天民
作者单位: 北京航空航天大学材料物理与化学研究中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 52-52
在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）