会议专题

掺杂nc-Si:H膜的显微结构与电导特性研究

掺杂 显微 结构 电导特性 薄膜 纳米硅膜

彭英才 刘明 何宇亮

大学电子信息工程学院 科学院微电子中心 航空航天大学材料物理中化学研究中心

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246~247

1999-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)