关键词: 掺杂 显微 结构 电导特性 薄膜 纳米硅膜
作者: 彭英才 刘明 何宇亮
作者单位: 大学电子信息工程学院 科学院微电子中心 航空航天大学材料物理中化学研究中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 246~247
在线出版日期: 1999-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)