等离子体汽相沉积硼掺杂C<,60>薄膜

摘要：

用等离子体汽相沉积方法合成了硼掺杂Ｃ〈，６０〉薄膜，通过红外紫外－可见吸收谱初步分析了掺杂Ｃ〈，６０〉薄膜的结构及特性。

关键词： 掺杂 气相沉积 富勒烯 薄膜结构 薄膜性质

作者: 邹云娟 宋雪梅 李朝阳 陈光华

作者单位: 工业大学应用物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 235～236

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）