弧热氮原子束辅助脉冲激光溅射合成ZnSe:N薄膜

摘要：

研究人员用弧热氮原子束辅助脉冲激光溅射方法沉积ＺｎＳｅ掺氮薄膜。溅射靶采用多晶ＺｎＳｅ片，衬底采用抛光ＧａＡｓ（１００）和Ｓｉ（１１１）片。一台弧热束源被用来分解氮气，含大量中性氮原子的出射束（１０〈’１８〉￣１０〈’１９〉原子／弧度·秒）在沉积过程中同溅射出的等离子体和薄膜生长面相互作用合成Ｎ掺杂ＺｎＳｅ薄膜。Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）表明薄膜由ＺｎＳｅ单晶或多晶构成。Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）表明薄膜主要由Ｚｎ、Ｓｅ和Ｎ组成。

关键词： 掺杂 氮掺杂 金属薄膜 ZnSe薄膜 溅射 激光溅射

作者: 许宁 应质峰 杜元成

作者单位: 材料改性国家重点联合实验室物理系,复旦大学(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 251～254

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）