图像处理技术在形貌测量中的应用

摘要：

本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例,分析影响精度的各种因素,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果.证明应用图像处理技术,对改善二维、三维图像质量,提高检测精度的可行性.

关键词： 图像处理 滤波 干涉显微法 表面形貌

作者: 许谊 徐毓娴 蔡昕

作者单位: 清华大学精密仪器系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 217-218

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）