CuO／ZnO薄膜PN结的正向伏安特性随相对湿度的变化

摘要：

用活化反应蒸发法在普通玻璃基片上制备出CuO/ZnO薄膜PN结，研究了该PN结的正向伏安特性曲线随相对湿度的变化。CuO/ZnO薄膜PN结的正向伏安特性曲线随相对湿度的变化而改变，相对湿度越高，正向电流越大；正向偏压越高，湿度灵敏度越高。

关键词： CuO/ZnO薄膜 PN结 正向伏安特性 相对湿度

作者: 何元金 马振伟

作者单位: 大学物理系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 162～164

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）