透表面显微内窥半导体和集成电路的新方法

关键词： 透表显微内窥法 半导体材料 集成电路 微结构

作者: 梁竹关 肖玲 王建 周开邻 李亚文 李萍 徐晓华

作者单位: 云南大学物理系 昆明物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一次全国电子显微学会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 589～590

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）