亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的光学装校

摘要：

该文列出了i线和g线大数值孔径亚微米投影光刻物镜的技术指标要求，讨论了这类超高精度光刻物镜的光学装校技术特点，报告了计算机辅助高精度复杂光学系统偏心校正仪器和方法，最后给出了i线和g线光刻物镜装校检测结果。

关键词： 投影光刻物镜 光学装校 偏心测量

作者: 姚汉民 魏全忠 齐晓慧

作者单位: 科学院光电技术研究所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 63～66

在线出版日期: 1998-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）