合肥Ｗｉｇｇｌｅｒ光源用于深度同步辐射光刻特性计算

摘要：

微型机械技术将给工业领域带来深刻的变革，它被认为是未来工业的一项基础技术。ＬＩＧＡ技术是制作微电子机械的一种重要加工方法。主要对合肥同步辐射光源用于ＬＩＧＡ技术深度光刻的曝光时间和曝光特性进行了计算分析。计算结果表明合肥Ｗｉｇｇｌｅｒ光源是用于深度同步辐射光刻的理想光源之一。

关键词： 同步辐射 ＬＩＧＡ 光刻

作者: 田扬超 田学红 刘刚

作者单位: 科学技术大学国家同步辐射实验室(安徽省合肥市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 300～304

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）