０〈’＋〉注入实验研究及其在时分光子交换器件中的应用

摘要：

报道了对ＩｎＰ单晶，ＡＺ１３５０Ｊ光刻胶、ＰＳＧ（磷硅玻璃）以及常规真空蒸发ＣｒＡｕ、ＡｕＧｅＮｉ薄膜等的０〈’＋〉注入实验研究及其在ＩｎＧａＡｓＰ／ＩｎＰ量子阱时分光子交换器件中的应用。

关键词： ０〈’＋〉注入 量子阱时分光子交换器件

作者: 张权生 芦秀玲 罗丽萍

作者单位: 科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室(北京) 科学院半导体研究所,集成光电子学国家重点联合实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 259～262

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）