关键词： 铁电材料 PZT铁电薄膜 集成电路工艺
作者: 黄维宁 颜雷 姜国宝 程旭 汤庭鳌
作者单位: 大学电子工程系(上海)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 263～266
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）