硅基铁电薄膜的性能研究

摘要：

以Sol-Gel方法制备了硅基PZT铁电薄膜,底电极分别为低阻硅和硅衬底上溅射的金属铂、钛.测试了铁电薄膜的介电、铁电性能,比较了两种衬底电极对铁电薄膜性能的影响及各自的优势.

关键词： 铁电薄膜 衬底电极 频率响应

作者: 任天令 张林涛 刘理天 李志坚

作者单位: 清华大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 304-306

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）