新型差压传感器的研制

摘要：

该文提出了一种适合小型差压变送器使用的体积小，价格廉的新型差压传感器。并对它的工作原理、结构设计和相关的工艺技术进行了探讨。同时结合研究工作给出了零点，灵敏度补偿网络和主要技术指标。介绍了其良好的市场前景和广阔的应用领域。

关键词： 差压传感器 扩散硅 过载保护

作者: 刘沁 张春晓 唐慧 刘妍

作者单位: 沈阳仪器仪表工艺研究所(沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 202～204

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）