氮化碳薄膜的结构、应力、硬度及其关系研究

摘要：

应用磁控溅射系统沉积碳氮薄膜材料。发现实验参数中衬底温度对薄膜的沉积率，含氮原子百分比，结构，性质有显著影响。衬底温度３５０℃时，碳氮薄膜具有ｔｕｒｂｏｓｔｒｔｉｃ类结构，其硬度，应力最大。

关键词： 陶瓷薄膜 氮化碳 氮化物陶瓷 力学性质 物质结构

作者: 郑伟涛 于文学 曹培江

作者单位: 大学材料科学系(长春) 大学超硬材料国家重点实验室(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 648～649

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）