碳和氮原子在氧沉淀中的作用

关键词： 碳原子 氮原子 氧沉淀 硅单晶

作者: 大学硅材料科学国家重点实验室 朱爱平 李立本

作者单位: 浙江半导体技术有限责任公司 大学硅材料科学国家重点实验室,浙江半导体技术有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 198～202

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）