关键词： 碳原子 氮原子 热施主 硅
作者: 刘培东 朱爱平 李刚
作者单位: 大学硅材料科学国家重点实验室,浙江半导体技术有限责任公司
会议类型: 国内会议
会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 193～197
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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