关键词： 碳氮膜 沉积 工艺 薄膜 类金刚石
作者: 付志强 袁镇海 邓其森 林松盛 郑健红 戴达煌
作者单位: 有色金属研究院
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 193～
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）