单晶硅表面织构化的正交优化研究

摘要：

采用表面织构化技术可以十分有效地提高硅太阳电池对光的吸收,从而提高其转换效率.本文采用正交实验的方法对单晶硅碱腐蚀表面织构化进行优化研究,用方差分析的方法讨论了碱腐蚀.

关键词： 太阳电池 单晶硅 表面织构化 正交优化 方差分析 碱腐蚀

作者: 席珍强 陈君 李先杭 王龙成 余学功 杨德仁 蒋敏 应啸

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室(杭州) 浙江大学海纳集团半导体材料有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第六届光伏会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 51-54

在线出版日期: 2000-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）