一种微机械隧道陀螺仪原型方案初探

摘要：

微机械陀螺仪的测量精度及灵敏度是制约其走向实用化的重要因素.本文提出利用电极间的隧道效应敏感陀螺输出位移的微小变化,对陀螺仪的结构方案进行了初步探讨.

关键词： 隧道效应 陀螺仪 微惯性测量 MIMU 微电子机械系统 MEMS

作者: 孙道恒

作者单位: 厦门大学机电工程系(厦门)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 106-108

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）