微硅隧道加速度变送器的优化设计
本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用“力平衡”方式.设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行,无需进行后续组装.
隧道 加速度变送器 表面工艺
龙志峰 韩荔 李庆祥 白立芬
清华大学精密仪器与机械学系(北京)
国内会议
沈阳
中文
193-194,201
2001-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
隧道 加速度变送器 表面工艺
龙志峰 韩荔 李庆祥 白立芬
清华大学精密仪器与机械学系(北京)
国内会议
沈阳
中文
193-194,201
2001-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)