会议专题

微硅隧道加速度变送器的优化设计

本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器,其参数经有限元分析优化,并采用了平头隧道电极,变送器的控制采用“力平衡”方式.设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行,无需进行后续组装.

隧道 加速度变送器 表面工艺

龙志峰 韩荔 李庆祥 白立芬

清华大学精密仪器与机械学系(北京)

国内会议

中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

沈阳

中文

193-194,201

2001-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)