PSD发展进程和应用研究

摘要：

本文简述PSD从理论模型的提出到传感器研究历程,分析PSD结构及其工作原理,介绍了国内外PSD发展现状及其应用研究、PSD精度标定设备,讨论影响PSD位置测量精度的因素及其国内外PSD产品特点和存在的问题.

关键词： 测试条件 标定系统 半导体位置敏感探测器 传感器 光电效应 位置测量

作者: 吕爱民 段俊斌 袁红星 贺安之

作者单位: 北京安定门外北苑89602部队 南京理工大学理学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国兵工学会第10届测试技术研讨会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 139-143

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）