扩大纳米干涉仪测量范围的研究

摘要：

该文在已有的纳米干涉仪测量方案的基础上提出了扩大测量范围的方法，从理论上能够将原来的二分之一单波长（0.316μm）的测量范围扩大到毫米量级。该文中给出了新的信号处理方法和误差分析。整个系统的测量不确定度为0.10nm+(1/2n+1)×1.6×10<”-6>μm（n为干涉条纹的整数级次）。

关键词： 测量范围 纳米干涉仪 干涉条纹

作者: 程晓辉 赵洋

作者单位: 清华大学国家精密测试技术与仪器重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000年计量测试学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 75～79

在线出版日期: 2000-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）