无机盐制备PZT铁电薄膜的研究

摘要：

TiCl<,4>、ZrOCl<,2>溶液水解后制得的TiO<,2>、ZrO<,2>溶胶（不含CT）与Pb(CH<,3>COO)<,2>3H<,2>O溶液进行混合辅之以丙烯酰胺单体（AM）聚合形成的聚丙烯酰胺（PAM）作为吸附剂或粘结剂BPO作引发剂），可在单晶硅（111）基片、Ni-Ti基片和蒸金硅基片上制备出PZT薄膜。Pb过量10mol能有效地抑制烧绿石相的形成。薄膜中晶粒生长均匀，无裂纹。

关键词： 水解 溶胶 锆钛酸铅 铁电薄膜

作者: 刘雪芹 张敏

作者单位: 大学嘉定校区材料学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 574～578

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）