双框架微机械陀螺的准LIGA工艺制备及其振动性能测试研究

摘要：

研究了双框架微机械陀螺的厚度检测、控制技术，在此基础上采用该实验室自对准的准LIGA工艺制备出陀螺结构，其活动区面积为1.0 x1.0mm<”2>，框架厚度4μm。经加电测试，己观测到低频驱动下内、外框架在空气中的振动。

关键词： 双框架微机械陀螺 准LIGA工艺 测试结构

作者: 林爱民 杨根庆

作者单位: 科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会”98敏感技术学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 189～194

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）