双矩形型FeTaN薄膜电感器的制造

摘要：

一种采用FeTaN薄膜的双矩形螺旋电感器业已制成。该电感器由磁性层作间隔的内部线圈组成。该文以磁性薄膜的平面化为重点探讨电感器功能的特性。薄膜没有经平面化加工的情况下，覆盖在线圈阵上层的磁膜棚格拓扑结构降低了软磁性能和电感器功能。它也引起了与爱方向容易地排列成轴线的单一磁向。这种排列保护着有助于总感应的上层磁膜。玻璃联结是获得完全的平面电感器结构的可行方法。用玻璃联结的平面电感器显示着良好的性能：1.1μH的电感量，在5MHz时品质因数Q为7，直流电流容量达到100mA。

关键词： 双矩形螺旋电感器 FeTaN薄膜 磁膜 玻璃联结

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会元件分会电子变压器专业委员会2000年第十届学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 150～154

在线出版日期: 2000-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）