X射线双晶法射表征部分弛豫SiGe/Si(100)合金

关键词： 双晶衍射 SiGe/Si合金

作者: 林燕霞 刘金平 黄大定 李建平 曾一平 刘学锋 孙殿照 孔梅影

作者单位: 中国科学院半导体研究所材料中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国分子束外延学术会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 124-125

在线出版日期: 1999-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）