双极微波功率器件的热电一体模拟

摘要：

三维全热程热电一体模拟了双极微波功率器件。热分析包括芯片、基片、底座及它们之间的粘接层和粘接层中的空洞，有源区共有６０个子胞，对子胞晶体管进行了建模，子胞模型电路包括了晶体管、基区、发射区横向扩散电阻。热电一体分析涉及器件的正热电反馈、基区横向扩散电阻、发射区横向扩散电阻、发射极有效面积的变化等。热斑温度计算结果（２０４°Ｃ）与三个器件实验测量结果（２０７°Ｃ、１９７°Ｃ、１８７°Ｃ）的平均值（１９７°±１０°Ｃ）一致。

关键词： 双极微波功率器件 热电一体模拟 热斑温度 热场

作者: 张鸿欣

作者单位: 电子科技大学CAD所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 387～390

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）