激光诱导SiH<,4>等离子体反应碎片的产生机制
该工作利用光学发射光谱技术对TEACO,,2>激光诱导SiH<,4>等离子体反应碎片的时间特性进行了测量,分析了碎片的产生和反应机制。提出碎片Si、Si<”+>等主要为一级反应产物,Si<,2>、SiH等主要为二级产物的结论。对Si390.6mm、SiH412.8nm谱线随实验条件变化的测量,进一步验证了研究人员结果。
CO<,2>激光器 反应机制 激光等离子体 反应碎片
张贵银 姜根山
华北电力大学基础科学系(保定)
国内会议
昆明
中文
203~204
1999-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)