电子束曝光机中的数控物镱电流源

摘要：

介绍了数控物镜电流源的原理、设计方法以及关键元器件的选择；印制电路板工艺设计要点；噪声干扰的处理。

关键词： 数控物镜电源源 印制电路板 噪声干扰

作者: 王迪平

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 136～139

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）