离子束传输中几个特征参数的测量

摘要：

讨论了在离子注入机中的束流强度、束径、束发身角等几个参数的测量原量和方法，并简要介绍了已设计过的几种测试装置。

关键词： 束流强度 束径 束发射角 测量 测试装置

作者: 龙会跃

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 189～194

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）