石英钟罩式MWPCVD制备金刚石薄膜的研究

摘要：

利用改进完善的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）装置考察了基片预处理、沉积气体比例、沉积气压、基片位置等工艺以MWPCVD制备金刚石薄膜的影响；SEM形貌观察和Raman谱分析都表明石英钟罩式MWPCVD制备高质量金刚石薄膜有显著的优越性。

关键词： 石英钟罩 微波等离子体化学气相沉积 金刚石薄膜

作者: 俞世言 丁振峰 刘东平 马腾才 邬钦崇

作者单位: 大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室 中国科学院等离子物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 108-111

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）