能陷效应对石英谐振式力传感器量程的影响

摘要：

能陷效应使石英谐振器需要的频率成为能陷波稳定地输出，而寄生频率得到抑制。石英谐振式力传感器量程范围的确定要综合考虑石英材料的受压强度和能陷效应，否则当石英谐振器受力后谐振频率超出能陷范围时，传感器输出频率的稳定度下降。该文使用能陷效应基本公式和石英谐振器力灵敏度公式，推导出由能陷效应所决定的石英器的最大承载能力的表达式。

关键词： 石英谐振器 能陷效应 力传感器

作者: 朱惠忠 董永贵 冯冠平 王哲yáo

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 214～217

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）