十千瓦磁性微波等离子镀膜设备的研制概况

摘要：

该文简要介绍十一千瓦磁性微波镀膜机的研制概况，调试中的一些现象和基本结构，基本数据，也简谈美国专业厂家发状况和经营方式，从而暴露出我们落后不足之处和今后应努力的方向。

关键词： 十千瓦磁性微波镀膜机 电子回旋共振 钕铁硼恒铁 镀膜设备 微波等离子技术 同步辐射

作者: 张敬一 高秀敏 王刚昌 李晖 王青

作者单位: 青岛市机械研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 147-158

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）