复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏特性研究

摘要：

该文研究了复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏特性。复合钒钼酸干凝胶薄膜的湿敏性能较复合钒酸好，而且其电阻随相对湿度的增加而减小，添加正硅酸乙酯(TEOS)对其湿滞有明显的改进作用，含5wt℅TEOS的薄膜的湿滞回差最小，同时器件的响应恢复较快。

关键词： 湿敏传感器 复合钒钼酸干凝胶 薄膜 TEOS

作者: 童茂松 戴国瑞 阎玮 张彤 高鼎三

作者单位: 吉林大学电子工程系(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 293～295

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）