声表面波传感器及其应用

该文简要地回顾了传感技术的发展历史和现状,指出微传感器中当今世界的发展潮流。声表面波传感器是微型物性型传感器的一个分支。由于它所特具的众优点和广泛的应用前景,引起了世界各发达国家科技界、产业界的极大举,成为近十年来开发研究的热点之一。该文着重叙述了声表面波传感器的基本工作原理、基本型式、主要特点以及它有各个邻域中已经和可以预见的应用,从而可看出它将在信息产业中所起的重要作用。
声表面波传感器 微传感器 延迟线型 谐振型 目标识别标记 气敏传感器 扭矩测量
施文康 刘艾 蔡萍 杨明
上海交通大学(上海)
国内会议
成都
中文
26-28
1999-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)