彩色ＰＤＰ制造设备及其进展

摘要：

彩色ＰＤＰ制造工艺不同于类半导体工艺的ＴＦＴＬＣＤ的制作工艺，而是属于真空电子类的，与ＣＲＴ的帛蜍在多道工艺方面有相似之处。该文介绍了彩色ＰＤＰ制造设备以及它们的进展情况。

关键词： 彩色数字显示器（ＰＤＰ） 制造设备 真空成膜 真空成膜 曝光 厚膜形成

作者: 樊卫华 李庆青 王绪丰

作者单位: 电子器件研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 193～195

在线出版日期: 1999-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）