CL-1型渗氦校准漏孔

摘要：

渗氦型校准漏孔是利用石英对氦有较强的渗透能力而固定漏率的计量器具.漏率值的国际单位制单位是Pa·m<”3>/s.校准漏孔用于对氦质谱检漏仪的灵敏度校准.漏率值的稳定性和可靠性将决定氦质谱检漏仪的检漏质量.本文介绍了中国计量科学研究院制作的CL-1型渗氦型校准漏孔的结构,包括:储氦室,渗氦石英体,外接口和保护壳:校准所使用的真空漏率标准和校准方法及其校准不确定度分析:典型校准数据,包括:同一支漏孔不同日期校准,同一支漏税孔不同方法校准,指制作的零散性(5℅),漏率制作精度可控制在10<”-10>Pa·m<”3>/s量级.

关键词： 渗氦型校准漏孔 计量器具 固定漏率

作者: 周起春

作者单位: 中国计量科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会

会议地点: 无锡

会议语种:中文

页码: 67-70

在线出版日期: 2001-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）