VGF炉中GaAs结晶表面平衡温度的计算

摘要：

该文建立了VGF结晶炉的辐射换热模型，利用有限差分法对变温条件下砷化镓晶体表面的辐射换热进行了数值求解，得出晶体表面的平衡温度的变化曲线。

关键词： 砷化镓 晶体表面 辐射换热 平衡温度

作者: 魏东 马一太 李贵全 王占龙

作者单位: 天津大学热能研究所 信息产业部电子第四十六研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程热物理学会传热传质学学术会议

会议地点: 济南

会议语种:中文

页码: 586～588

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）