磁场中生长砷化镓的阴极荧光形貌与低温阴极荧光光谱的研究
从熔体中生长砷化镓时，由于重国引起的热对流，往往在晶体中会产生杂质条纹影响材料的质量，在消除杂质条纹的措施中，除在空间微重力这一理想条件外，在磁场中生长砷化镓晶体已被证明是一个行之有效的方法，在观察杂质条纹的技术中，除传统的腐蚀法而外，阴极荧光形貌技术则是非破坏性的研究杂质条纹及晶格缺陷的一个非常有效的工具，再配合阴极荧光光谱，则可以得到更多有关杂质与缺陷的信息。
砷化镓 磁场 阴极荧光 低温阴极 荧光光谱
李成基 李韫言 王万年
中国科学院半导体研究所(北京)
国内会议
广西北海
中文
133～135
2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）