采用PZT薄膜的射频滤波器研究

摘要：

微机械加工技术是提高射频通信关端器件性能、缩小其体积的有效方法。文中介绍了应用MEMS(微电子机械系统)技术的体声波射频滤波器的原理、结构，分析了PZT的材料特性，优化了硅基薄膜的制备、退火、刻蚀等集成工艺，并在此基础上设计了以该材料为核心的射频滤波器，模拟了该器件的性能。

关键词： 射频滤波器 谐振器 微电子机械系统 锆钛酸铅

作者: 刘燕翔 任天令 刘理天

作者单位: 清华大学微电子研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 209～212

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）