电容式高分子湿度传感器上电极制造技术

摘要：

对用聚酰亚胺材料制造的电容式高分子湿度传感器的上电极制造工艺与过程进行了深入研究，在传统的制作方法基础上又开发了新的制造工艺。在材料上用Ｃｒ代替Ａｕ，在工艺上，分别采用掩膜和光刻技术，直接制造出多孔、连续、均匀的上电极，提高了生产的操作性，产品质量的一致性、稳定性和感湿特性。

关键词： 上电极 掩膜 光刻 感湿特性 湿度传感器

作者: 施云波 张广学 王强

作者单位: 东北传感器研究所泰科电气有限公司(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国湿度与水分学术交流会暨第五届气湿敏学术交流会

会议地点: 呼和浩特

会议语种:中文

页码: 51～54

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）