反射式闪耀光栅楔形平板用于转角测量
本文描述一种用双频激光干涉法测量转角的新方法,在玻璃楔形平板上加工反射式闪耀光栅,用该光栅楔形平板作为一个新的部件,以代替反射用的角锥棱镜,不仅简化了测量装置,减小了干涉仪的尺寸,而且装置方便.该装置不但可以测量转角,还可用于测量360°整周角度.本文给出了测量原理和测量装置,还给出了减少和补偿测量误差的方法.用于转角测量的实验表明,该装置的测量精度高,测角分辨力可达0.02″.
闪耀光栅 楔形平板 激光干涉 转角测量
陶卫 浦昭邦 万松
哈尔滨工业大学(哈尔滨)
国内会议
沈阳
中文
96-98
2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）