关键词： 色型磁场 大直径 硅单晶 外延生长
作者: 侯华 奏福
作者单位: 有色金属研究总院半导体中心
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 63～66
在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）