扫描WQUID显微镜传感器件的研制

摘要：

该文简单介绍了扫描WQUID显微镜的原理和基本结构，同时提出三种用于显微镜的传 感器件(SQUID)的设计与制备工艺。

关键词： 扫描显微镜 传感器件

作者: 丁胜红 于洪伟

作者单位: 中国科学院物理研究所中国科学院凝聚态物理中心(北京),中 国科学院理化 中国科学院物理研究所中国科学院凝聚态 物理中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 191～196

在线出版日期: 2000-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）