SPM仪器时间稳定性的测量与补偿
扫描探针显微镜是一种超高精度的仪器。它的分辨率可达到纳米量级，在纳米科技领域有着重要的应用。SPM仪器的时间稳定性是一项重要的技术指标。研究人员通过SPM仪器测试二维光栅所得图象，运用图像相关技术测量某商用SPM仪器的漂移速率。通过在控制软件中添加增加漂移补偿模块，以压榻陶瓷的微位移来补偿热漂移的影响。最终使该仪器的漂移速率减小一个数量级。
扫描探针显微镜 漂移速率 时间稳定性 图像相关
王文伟 金农 胡志强 夏安东 黄文浩
中国科学院上海原子核研究所(上海) 中国科技大学精密机械与精密仪器系(合肥)
国内会议
成都
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211-213
1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）