扫描隧道显微镜在Si表面纳米结构加工的研究

摘要：

本文论述了利用扫描隧道显微镜(STM)的阳极氧化原理,在Si表面加工形成氧化线的过程,讨论了氧化电压,扫描频率和环境湿度对氧化的影响,并且对加工纳米结构器件作发初步探讨.

关键词： 扫描隧道显微镜 阳极氧化 STM 纳米结构器件 扫描频率

作者: 程子川 蒋建飞 蔡琪玉

作者单位: 上海交通大学微/纳米科学技术研究院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 380-382

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）